○ 新材料、 新工藝和新技術的開發(fā)應用

半導體材料在敏感技術中占有較大的技術優(yōu)勢, 半導體遠距離接近不只靈敏度高 、 響應速度快、體積小、質(zhì)量輕 ,而且便于集成化 ,仍將占有主要位置 。以一定化學成分 、 經(jīng)過成型及燒結的功用陶瓷材料 ,其較大特性是耐熱性 ,在敏感技術的展開中具有很大的潛力; 同時將半導體的精密細微加工技術 、靜電封接技術等應用在傳感器的制造中 , 可極大進步傳感器的性能指標 。

○ 遠距離接近傳感器展開的集成化、多維化 、

采用集成加工技術 ,將傳感器的各部分制造在同一個芯片上, 從而使傳感用具有了體積小 、質(zhì)量輕、消費自動化程度高、制造本錢低 、穩(wěn)定性和可靠性高、 安裝調(diào)試時間短等優(yōu)點 。

運用電子掃描技術,將多個傳感器單元做在一同, 就可以研討多維空間的問題,如 CT技術等 ; 智能化傳感器還能將數(shù)據(jù)的采集、存儲 、 處置等一體化,從而完成其多功用化 。