電容式傳感器的輸出電壓，輸入功率之間的關(guān)系F作為一種力量。KC和Ku是無(wú)能為力的位移，位移電容器，電容器的輸出電壓比例系數(shù);傳感器的輸出電壓U。很顯然，在力的位移，位移的電容，電容的輸出電壓的每個(gè)環(huán)節(jié)的過(guò)程中，傳感器的結(jié)果受到影響。電容檢測(cè)電路的線性度很容易得到保證，即，庫(kù)是恒定的，所以影響傳感器的線性度的主要因素是力-位移和位移-電容轉(zhuǎn)換過(guò)程的非線性。

　　普通電容式傳感器結(jié)構(gòu)是0靜態(tài)頻率檢測(cè)，傳感器位移x和測(cè)力是x = KSF之間的關(guān)系。一般的彈簧設(shè)計(jì)是線性的，即KS的位移變化是恒定的，力-位移轉(zhuǎn)換過(guò)程是完全線性的，非線性的傳感器沒(méi)有貢獻(xiàn)的。對(duì)電容器的位移有2種結(jié)構(gòu)變量和重疊區(qū)域可變間隙板。變面積的良好的線性度，但在相等的位移變化比的可變間隙的電容是小的，所以實(shí)際的多變量間隙法。

　　線性的力和位移之間的關(guān)系是影響傳感器線性度的又一個(gè)主要因素，通常在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中會(huì)嘗試提高線性度。但考慮到非線性結(jié)構(gòu)的位移與電容之間的關(guān)系，其力與位移之間的比例隨位移的絕對(duì)值的增大而減小，并在一定程度上抵消了非線性和改善力與電容的線性關(guān)系。

　　通過(guò)選取梁的寬度、應(yīng)力和位移、位移和微分電容的非線性特性，在一定程度上抵消了彼此的非線性特性，從而提高了傳感器的線性度。